Матеріал з Вікіпедії — вільної енциклопедії.

Скануючий електронний мікроскоп (англ. Scanning Electron Microscope, SEM) - науковий прилад, що дозволяє одержувати зображення поверхні зразка з великою роздільною здатністю (менше мікрометра). Зображення, одержані за допомогою растрового електронного мікроскопа, виглядають тривимірними і є зручними для вивчення структури сканованої поверхні. Ряд додаткових методів дозволяє отримувати інформацію про хімічний склад приповерхневих шарів.

Зміст 1 Принцип роботи 2 Режими роботи 2.1 Детектування вторинних електронів 2.2 Детектування відбитих електронів 3 Роздільна здатність 4 Застосування

[ред.] Принцип роботи

Досліджуваний зразок в умовах промислового вакуума сканується сфокусованим електронним пучком середніх енергій. Залежно від механізму реєстрації сигналу розрізняють декілька режимів роботи скануючого електронного мікроскопа: режим відбитих електронів, режим вторинних електронів, режим катодолюмінесценції и т. д. Розроблені методики дозволяють досліджувати не тільки властивості поверхні зразка, але також візуалізувати і отримувати інформацію про властивості підповерхневих структур, які знаходяться на глибині декілька мікрон від сканованої поверхні.

[ред.] Режими роботи

[ред.] Детектування вторинних електронів

[ред.] Детектування відбитих електронів

[ред.] Роздільна здатність

Просторова роздільна здатність скануючого електронного мікроскопа залежить від поперечного розміру електронного пучка, який у свою чергу залежить від характеристик електронно-оптичної системи, що фокусує пучок. Роздільна здатність також обмежена розміром області взаємодії електронного зонда із зразком, тобто від матеріалу мішені. Розмір електронного зонда і розмір області взаємодії зонда із зразком набагато більші відстані між атомамі мішені, таким чином, роздільна здатність скануючого електронного мікроскопа не є достатньо великою, щоб відображати атомарні масштаби, як це можливо, наприклад, в електронному мікроскопі, що працює за принципом просвічування. Проте, скануючий електронний мікроскоп має свої переваги, включаючи здатність візуалізувати порівняно велику область зразка, здатність досліджувати масивні мішені (а не тільки тонкі плівки), а також різноманітність аналітичних методів, що дозволяють досліджувати фундаментальні характеристики матеріалу мішені. Залежно від конкретного приладу і параметрів експерименту, можна досягнути значення роздільної здатності від десятків до одиниць нанометрів.

[ред.] Застосування

Скануючі мікроскопи застосовуються в першу чергу як дослідницький інструмент у фізиці, електроніці, біології. В основному для отримання зображення досліджуваного зразка, яке може сильно змінюватись у залежності від типу детектора, який використовується. Ці відмінності одержаних зображень дозволяють робити висновки про фізичні властивості поверхні, проводити дослідження рельєфу поверхні. Електронний мікроскоп практично єдиний прилад, який може дати зображення поверхні сучасної мікросхеми або проміжної стадії процесу фотолітографії.

• Використано матеріали зі статті в російській Вікіпедії.